先秦至唐五代語氣詞衍生主要有三種途徑：① 詞匯的語法化；② 短語和跨層結構的詞匯化；③ 音變衍生。這三種途徑又以語法化和詞匯化為主，基本特征為：① 語義虛化，詞類地位下降，同時主觀性逐漸增強；② 從語義、句法功能為主過渡到以語用功能為主；在句法結構中的地位逐漸下降，很多時候可有可無；③ 從最初作用於詞、短語層麵提升到句子（小句）層麵，成為語氣標記。
語氣詞的衍生受以下三個方麵的影響和製約：語義；句法結構和語境；語氣詞係統。這三個因素的合力形成一定的演變模式，從而促使某些演變在漢語史上反複發生，如平行演變、語義沾染等。
[1] 瞿靄堂：《論漢藏語的虛詞》，《民族語文》1995年第6期。
[2] 宋金蘭：《漢藏語是非問句語法形式的曆史演變》，《民族語文》1995年第1期。
[3] 張定京：《現代哈薩克語虛詞研究》，北京，民族出版社，2005，第188～253頁。
[4] 漢語史上有過幾次大的語言接觸，如漢代以來的佛經傳入、南北朝時期北方少數民族語言與漢語的接觸、元代以來的阿爾泰語係語言的傳入、明清以來西學東漸印歐語係對漢語的影響等。這些對漢語的發展演變或多或少產生了一定的影響。但是對語氣詞衍生的影響有多大呢？從已有的資料來看應該說很小，現在還沒有具體發現哪個語氣詞是因為語言接觸、滲透而衍生的。比如“似的”，以前曾有人認為源於蒙古語的“也似”，江藍生（1992）經過研究，指出並非如此，而是來源於土生土長的“是的”。如：
（1）若是饒了這個**婦，自除非饒了蠍子娘是的。（《金瓶梅詞話》12回）
但是語言接觸對語氣詞的發展演變有一定推動作用，表現在使用的擴展、衍生出新的用法等。比如佛經的傳入對漢語的口語化推動極大，促使口語中的語氣詞繁衍、擴展，進而對舊有的文言語氣詞進行新舊替代。再如元代的蒙古語對漢語特別是北方漢語的滲透，在語氣詞上留下了一些明顯的痕跡，祖生利《元代白話碑文中助詞的特殊用法》（《中國語文》2002年第5期）對“嗬”等語氣詞的分析表明，“嗬”本是一個停頓語氣詞，用於句中或小句末停頓處；因為漢語經常用“嗬”來對譯蒙古語的假定式副動詞，這樣“嗬”大量使用作假設語氣詞，並逐漸取代已有的假設語氣詞“時”和“後”。比較下麵兩例［例（2）轉引自江藍生］: