語義與語音總是相對應，這屬於無標記的對稱現象，而語法化經常伴隨著語音弱化。形態豐富的語言如英語、德語等附著詞、屈折詞綴的產生就正是語音弱化造成的，漢語中語法化引起的語音弱化也不乏其例。江藍生利用一些方言資料對這個問題做了很好的說明，她說：“一個成分在結構中變得越來越不重要時，它就會不斷虛化，發展到極端就會變成一個零形式，從結構中消失。”[17]她同時指出語法化造成的語音弱化表現常是聲調弱化、元音央化和聲母脫落等。
遺憾的是漢語傳統記音手段存在不足，語氣詞即使語音弱化，外在表現還是一個個漢字，因而對語氣詞的語音弱化進行分析存在一定困難。比如現代漢語中的語氣詞一般讀輕聲，古代、近代漢語中是否如此就不得而知了。不過一些語氣詞因語音弱化造成與原有語氣詞分離，產生了新的語氣詞。
（一）合音
合音是一種典型的語音變化（弱化），複合語氣詞在使用過程中，因為聲母或韻母的弱化、脫落，兩個音節之間的界限逐漸消失而融合。最早的合音語氣詞是先秦的“耳”，為“而已”的合音，表限製語氣。如：
（48）人生天地之間，若白駒之過隙，忽然而已。（《莊子·知北遊》）
（49）其母曰：“人盡夫也，父一而已，胡可比也？”（《左傳·桓公十五年》）
（50）天子、諸侯所親者，唯長子、母弟耳。（《穀梁傳·襄公三十年》）
自先秦以來，“耳”與“而已”就在同時使用，甚至是同一文獻中。如：
（51）寡人非能好先王之樂也，直好世俗之樂耳。（《孟子·梁惠王下》）
（52）學問之道無他，求其放心而已矣。（《孟子·告子上》）
但是，後來“而已”的語氣義並無變化，直到現代漢語中都是如此；而“耳”卻逐漸衍生出強調語氣。如：