（一）短語的詞匯化
如“雲爾”“不成”“罷了”“也無”“就是”等，本來並非詞，而是在漢語的曆史長河中逐漸凝固成詞並具有語氣功能的。下麵略舉“雲爾”“不成”加以說明。
述賓短語“雲爾”的“雲”本是言說義動詞，“爾”是代詞，複指前麵所說話語內容，並常與“曰”形成框式結構“曰……雲爾”；春秋末“爾”衍生出語氣詞的用法，同時“雲”也逐漸虛化，“雲爾”的述賓關係開始鬆動；漢代時重新融合成為一個表總括和提示的語氣詞。如：
（37）子曰：“女奚不曰，‘其為人也，發憤忘食，樂以忘憂，不知老之將至’雲爾。”（《論語·述而》）——述賓短語
（38）春秋之元，詩之關雎，禮之冠婚，易之幹巛，皆慎始敬終雲爾。（《大戴禮記·保傅第四十八》）——複合語氣詞
“不成”最初是一個否定性短語“不＋成”，經曆了偏正短語演變為反潔副詞再到語氣詞這樣兩個階段。其在句中語法位置、結構關係的改變引起詞義虛化，而詞義的虛化又導致詞匯語法位置和結構關係的改變。“不成”的虛化表現為由行域向知域漸變，即由客觀向主觀投射。[15]如：
（39）子曰:“君子成人之美，不成人之惡。”（《論語·顏淵》）——偏正短語
（40）不成殺人者亦止令出金而免！（《朱子語類》卷七十八）——反詰副詞
（41）豈有既出家後，師主不受十戒，恐其毀壞大戒不成？（《南海寄歸內法傳》卷三）——強調、反詰義語氣詞
（二）跨層結構的詞匯化
如“也者”“而已”“似的”“的話”等。跨層結構指兩個成分之間沒有語義上的聯係，也不在同一個語法單位，隻是線性序列緊鄰。隨著語義虛化，同時主觀性增強，兩個成分融合為一個語法單位，具有了句法、語義和語用功能。下麵略舉“而已”“的話”加以說明。