先秦至唐五代的單音節語氣詞大都是從他類詞語法化而來，其來源又可以分為六小類。
（一）指代詞→語氣詞：者、焉、爾
這三個語氣詞都形成於先秦。語氣詞“者”源於自指代詞“者”。如：
（1）此二君者，異於子幹。（《左傳·昭公十三年》）——自指代詞
（2）故臣曰：“亡國之廷無人焉。廷無人者，非朝廷之衰也，家務相益，不務厚國。”（《韓非子·有度》）——提頓語氣詞，兼有話題標記功能
自指代詞“者”常處於話題性成分“VP者”或“NP者”中，整個句法框架為“話題——說明（評述）”。“者”位於小句末，隨著指代性減弱，加上在韻律上能使句子語氣舒緩，從而演變為表停頓的語氣詞，同時兼有話題標記的功能；魏晉時還衍生出假設語氣。
語氣詞“爾”源於表複指的代詞“爾”。如：
（3）誅白公，定楚國，如反手爾，仁義功名善於後世。（《荀子·非相》）——指代詞
（4）得天下助卒，名為十萬，其實不過數萬爾。（《尉繚子·製談》）——提示義語氣詞
“爾”表提示語氣，有些學者認為“爾”相當於“耳”表限製語氣，其實限製語氣大多是句子的句式義或句中語氣副詞的語氣義，而非“爾”的語氣義。
語氣詞“焉”源於表處所的代詞“焉”。如：
（5）及莊公即位，為之請製。公曰：“製，岩邑也，虢叔死焉，佗邑唯命。”（《左傳·隱公元年》）——指代詞
（6）（季隗）對曰：“我二十五年矣，又如是而嫁，則就木焉。請待子。”（《左傳·僖公二十三年》）——提示、確認義語氣詞
指代詞“焉”指代的處所等往往在前文已經出現，比如例（5）“虢叔死焉”就是“虢叔死在那裏（製）”，加之“VP焉”結構本身帶有一定的提示意味，因而語義逐漸虛化，同時主觀提示功能得以凸顯而成為表提示、確認的語氣詞。